Kompakter CRDS Analysator zur Bestimmung der Feuchte in Gasen
Der DewTracer mini CRDS ist der erste japanische Hersteller, dem es gelungen ist, ein CRDS-Spurenfeuchtemessgerät zu entwickeln. Es ist das weltweit am schnellsten reagierende Produkt im Spurenfeuchtebereich. Es kann eine Spurenfeuchte von 12 ppbv ~ 20 ppmv (-100 ~ -55 °CDP) gemessen werden.Zielindustrien
- Produktions-, Inspektions- und Abfüllprozess für hochreine Gase für Halbleiter
- Forschungs- und Herstellungsprozess von Festkörperbatterien
- Für die Verwaltung und Steuerung von Handschuhkästen und Trockenkammern
Stärken
Genaue Messung von Spurenfeuchtebereichen weit unter 2 ppmv (<-70 °CDP)
Es ist möglich, Spurenfeuchtebereiche genau zu messen, die mit herkömmlichen Messmethoden (spiegelgekühlte und kapazitive Typen) nicht gemessen werden könnten.
Extrem gute Ansprechzeiten
Durch die Anwendung der CRDS-Methode und die Verkleinerung der Kavität wurde eine sehr gutes Ansprechverhalten erreicht.
50 ppbv ⇔ 1000 ppbv ↑60 Sek., ↓61 Sek. (90 % Ansprechzeit)
Stabile Messung, die nicht durch korrosive Gase oder andere Komponenten beeinträchtigt wird
Da es sich um eine berührungslose Messung handelt, ist es möglich, korrosive Gase zu handhaben, die mit herkömmlichen Messgeräten nicht gemessen werden könnten.
Keine Sensordegradation und Langzeitstabilität
Prinzipiell führt die herkömmliche Messmethode (spiegelgekühlt und kapazitiv) dazu, dass sich der Sensor mit der Zeit verschlechtert. Da das CRDS-Verfahren die Dämpfung des Laserstrahls misst, hat es eine hohe Langzeitstabilität, da die Genauigkeit auch bei Änderung des Ausgangswertes nicht beeinträchtigt wird.
Geringe Abmessungen
Der Sensorbereich ist sehr klein: H165×B150×T300 mm
Sensor und Monitor können getrennt werden
Benutzerfreundlichkeit und gute Sichtbarkeit mit einem Touchpanel
Das Bedienpanel ist mit einem 5-Zoll-Touchpanel ausgestattet. Die Bedienung ist intuitiv und komfortabel durch ein einfaches Berühren des Bildschirms.
Darüber hinaus ist es mit einer großen, gut ablesbaren Schrifteinstellung ausgestattet, so dass Messungen aus der Ferne gut zu erkennen sind.
Gasleckage-Gegenmaßnahmen sind mit Videorekorder-Anschlüssen und Spülöffnungen am Sensorteil möglich.
In der Reinstgasindustrie werden die standardmäßigen, luftdichtesten Fittings für Messgas IN-OUT verwendet.
Darüber hinaus wird für den unwahrscheinlichen Fall eines Lecks aus dem Messraum ein Anschluss installiert, der den gesamten Sensorabschnitt spülen kann.
Analoge und digitale Ausgänge stehen zur Verfügung, eine zentrale Überwachung wird ebenfalls unterstützt.
Optionale analoge und digitale Ausgänge ermöglichen die Erfassung von Messwerten im zentralen Überwachungssystem der Anlage. Darüber hinaus ist er auf Miniaturisierung und Benutzerfreundlichkeit ausgelegt und kann mit der gleichen Benutzerfreundlichkeit wie herkömmliche Sensorwandler gehandhabt werden.
SPEZIFIKATIONEN
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Modell |
DewTracer mini CRDS-H2O |
Messprinzip |
CRDS-Methode (Cavity Ring Down Spectroscopy) |
Messbereich für die Feuchte |
12 ppbv ~ 20 ppmv (-100 ~ -55 °CDP) |
Unterschiedliche Einsatzumgebung |
10 ~ 40 °C, 35 ~ 80% RH oder weniger (keine Kondensation) |
Umfang der Speicherumgebung |
-10 ~ 40 °C, 35 ~ 85 % relative Luftfeuchtigkeit oder weniger (keine Kondensation) |
Antwortzeit |
50⇔1000 [ppbv] 90 [%] Reaktionszeit bei Änderung 60 [Sek.] (typ.) |
Temperaturbereich des Messgases |
5~60°C oder weniger |
Durchflussrate der Probe | <2,0 l/min. |
Durchflussrate der Spülung | <5,0 l/min. |
Art des Messgases | Wählen Sie zwischen Luft, N2, O2, Ar |
Druck der Probe | 86 ~ 106 kPaA (bis zu ~900 kPaA als Option) |
Systemgenauigkeit | ±4 % oder ±12 ppb, je nachdem, welcher Wert größer ist |
Messungen | Volumenmolaranteil [ppmv] Messeinheit Gastemperatur [°C] Messeinheit Gasdruck [PaA] |
Berechnete Werte | Tau-/Frosttemperatur [°CDP] |
LCD-Display (Monitorbereich) | Farb-LCD (800×480 WVGA) 5-Zoll-Touchpanel |
Analogausgang (optional) | 4~20 mA |
Digitaler Ausgang (optional) | RS-232C |
Alarmausgang (optional) | Relaiskontakt-Ausgang |
Klempnerei | Messgas IN-OUT: 1/4"; Spülgas IN-OUT: 1/4" |
Stromversorgung | Mitgeliefertes Netzteil (100-240 V, 50 / 60 Hz, 1,4 Amax) |
Leistungsaufnahme | Sensor: 10 W (typ.) Monitoreinheit: 30 W (typ.) |
Gewicht | Sensor: ca. 5 kg (ohne Netzteil) + Monitor: ca. 1,7 kg |
Abmessungen (Einheit: mm) |
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