Vertrauen ist gut. Messen ist besser!
Kurzbeschreibung: CRDS Spurenfeuchteanalysator
CRDS DewTracer

Kompakter CRDS Analysator zur Bestimmung der Feuchte in Gasen

Der DewTracer mini CRDS ist der erste japanische Hersteller, dem es gelungen ist, ein CRDS-Spurenfeuchtemessgerät zu entwickeln. Es ist das weltweit am schnellsten reagierende Produkt im Spurenfeuchtebereich. Es kann eine Spurenfeuchte von 12 ppbv ~ 20 ppmv (-100 ~ -55 °CDP) gemessen werden.

Zielindustrien

  • Produktions-, Inspektions- und Abfüllprozess für hochreine Gase für Halbleiter
  • Forschungs- und Herstellungsprozess von Festkörperbatterien
  • Für die Verwaltung und Steuerung von Handschuhkästen und Trockenkammern

Stärken

Genaue Messung von Spurenfeuchtebereichen weit unter 2 ppmv (<-70 °CDP)

Es ist möglich, Spurenfeuchtebereiche genau zu messen, die mit herkömmlichen Messmethoden (spiegelgekühlte und kapazitive Typen) nicht gemessen werden könnten.

Genauigkeit CRDS

Extrem gute Ansprechzeiten

Durch die Anwendung der CRDS-Methode und die Verkleinerung der Kavität wurde eine sehr gutes Ansprechverhalten erreicht.
50 ppbv ⇔ 1000 ppbv ↑60 Sek., ↓61 Sek. (90 % Ansprechzeit)

Response time

Stabile Messung, die nicht durch korrosive Gase oder andere Komponenten beeinträchtigt wird

Da es sich um eine berührungslose Messung handelt, ist es möglich, korrosive Gase zu handhaben, die mit herkömmlichen Messgeräten nicht gemessen werden könnten.

Keine Sensordegradation und Langzeitstabilität

Prinzipiell führt die herkömmliche Messmethode (spiegelgekühlt und kapazitiv) dazu, dass sich der Sensor mit der Zeit verschlechtert. Da das CRDS-Verfahren die Dämpfung des Laserstrahls misst, hat es eine hohe Langzeitstabilität, da die Genauigkeit auch bei Änderung des Ausgangswertes nicht beeinträchtigt wird.

Geringe Abmessungen

Der Sensorbereich ist sehr klein: H165×B150×T300 mm

Sensor und Monitor können getrennt werden

Splitted unit

Benutzerfreundlichkeit und gute Sichtbarkeit mit einem Touchpanel

Das Bedienpanel ist mit einem 5-Zoll-Touchpanel ausgestattet. Die Bedienung ist intuitiv und komfortabel durch ein einfaches Berühren des Bildschirms.
Darüber hinaus ist es mit einer großen, gut ablesbaren Schrifteinstellung ausgestattet, so dass Messungen aus der Ferne gut zu erkennen sind.

Bedienpanel

Gasleckage-Gegenmaßnahmen sind mit Videorekorder-Anschlüssen und Spülöffnungen am Sensorteil möglich.

In der Reinstgasindustrie werden die standardmäßigen, luftdichtesten Fittings für Messgas IN-OUT verwendet.
Darüber hinaus wird für den unwahrscheinlichen Fall eines Lecks aus dem Messraum ein Anschluss installiert, der den gesamten Sensorabschnitt spülen kann.

Gashandling

Analoge und digitale Ausgänge stehen zur Verfügung, eine zentrale Überwachung wird ebenfalls unterstützt.

Optionale analoge und digitale Ausgänge ermöglichen die Erfassung von Messwerten im zentralen Überwachungssystem der Anlage. Darüber hinaus ist er auf Miniaturisierung und Benutzerfreundlichkeit ausgelegt und kann mit der gleichen Benutzerfreundlichkeit wie herkömmliche Sensorwandler gehandhabt werden.

 

SPEZIFIKATIONEN

Modell

DewTracer mini CRDS-H2O

Messprinzip

CRDS-Methode (Cavity Ring Down Spectroscopy)

Messbereich für die Feuchte

12 ppbv ~ 20 ppmv (-100 ~ -55 °CDP)

Unterschiedliche Einsatzumgebung

10 ~ 40 °C, 35 ~ 80% RH oder weniger (keine Kondensation)

Umfang der Speicherumgebung

-10 ~ 40 °C, 35 ~ 85 % relative Luftfeuchtigkeit oder weniger (keine Kondensation)

Antwortzeit

50⇔1000 [ppbv] 90 [%] Reaktionszeit bei Änderung 60 [Sek.] (typ.)

Temperaturbereich des Messgases

5~60°C oder weniger

Durchflussrate der Probe <2,0 l/min.
Durchflussrate der Spülung <5,0 l/min.
Art des Messgases Wählen Sie zwischen Luft, N2, O2, Ar
Druck der Probe 86 ~ 106 kPaA (bis zu ~900 kPaA als Option)
Systemgenauigkeit ±4 % oder ±12 ppb, je nachdem, welcher Wert größer ist
Messungen Volumenmolaranteil [ppmv]
Messeinheit Gastemperatur [°C]
Messeinheit Gasdruck [PaA]
Berechnete Werte Tau-/Frosttemperatur [°CDP]
LCD-Display (Monitorbereich) Farb-LCD (800×480 WVGA) 5-Zoll-Touchpanel
Analogausgang (optional) 4~20 mA
Digitaler Ausgang (optional) RS-232C
Alarmausgang (optional) Relaiskontakt-Ausgang
Klempnerei Messgas IN-OUT: 1/4"; Spülgas IN-OUT: 1/4"
Stromversorgung Mitgeliefertes Netzteil (100-240 V, 50 / 60 Hz, 1,4 Amax)
Leistungsaufnahme Sensor: 10 W (typ.) Monitoreinheit: 30 W (typ.)
Gewicht Sensor: ca. 5 kg (ohne Netzteil) + Monitor: ca. 1,7 kg
Abmessungen
(Einheit: mm)

 

 
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