Kompakter CRDS Analysator zur Bestimmung der Feuchte in Gasen
SHINYEI ist der erste japanische Hersteller, dem es gelungen ist, ein CRDS-Spurenfeuchtemessgerät zu entwickeln. Es ist das weltweit am schnellsten reagierende Produkt im Spurenfeuchtebereich. Es kann eine Spurenfeuchte von 12 ppbv ~ 20 ppmv (-100 ~ -55 °CDP) gemessen werden. Auf Anfrage auch kleinere Nachweisgrenze. Zielindustrien
- Produktions-, Inspektions- und Abfüllprozess für hochreine Gase für Halbleiterindustrie
- Forschungs- und Herstellungsprozess von Festkörperbatterien
- Gloveboxes, Isolatoren, Trockenkammern uvm.
Stärken
Direkte Messmethode ohne Kalibrierkurve!
Feuchtemessgeräte, die Feuchtigkeitsadsorption und -desorption nutzen, wie beispielsweise Aluminiumoxidsensoren, berechnen die Feuchtigkeitsmenge anhand der Änderung des elektrischen Zustands, beispielsweise der Kapazität des Sensors, infolge der Feuchtigkeitsmenge. Für jeden Sensor wird vom Hersteller eine Kalibrierkurve unabhängig erstellt. Abweichungen von der Kalibrierkurve aufgrund von Sensordrift im Betrieb oder im Laufe der Zeit müssen jedes Mal anhand der Ergebnisse einer Vergleichskalibrierung mit einem Standard korrigiert werden.
Der SHINYEI CRDS wird als absolutes Messverfahren bezeichnet, da es direkt aus Messwerten bekannter physikalischer Konstanten berechnet werden kann, ohne dass Kalibrierkurven erforderlich sind, und grundsätzlich keine Kalibrierung mit einem Standard erfordert. Die Lichtabklingzeit, das Messprinzip von CRDS, hängt nicht von der Lichtintensität des einfallenden Lichts ab. Selbst wenn die Lichtintensität durch Alterung des Lasers abnimmt, wird die Messgenauigkeit nicht beeinträchtigt. Dies bietet den Vorteil einer hohen Zuverlässigkeit bei Langzeitmessungen und reduziert die Häufigkeit periodischer Kalibrierungen.
Genaue Messung von Restfeuchte, auch in korrosiven Gasen
Es ist möglich, Spurenfeuchtebereiche genau zu messen, die mit herkömmlichen Messmethoden (spiegelgekühlte und kapazitive Typen) nicht gemessen werden könnten.
Extrem gute Ansprechzeiten
Durch die Anwendung der CRDS-Methode und die Verkleinerung der Kavität wurde ein extrem gutes Ansprechverhalten erreicht, welches seinesgleichen sucht.
50 ppbv ⇔ 1000 ppbv ↑60 Sek., ↓61 Sek. (90 % Ansprechzeit)
Stabile Messung, die nicht durch korrosive Gase oder andere Komponenten beeinträchtigt wird
Da es sich um eine berührungslose Messung handelt, ist es möglich, korrosive Gase zu handhaben, die mit herkömmlichen Messgeräten nicht gemessen werden könnten.
Keine Sensordegradation und Langzeitstabilität
Prinzipiell führt die herkömmliche Messmethode (spiegelgekühlt und kapazitiv) dazu, dass sich der Sensor mit der Zeit verschlechtert. Da das SHINYEI CRDS-Verfahren die Dämpfung des Laserstrahls misst, hat es eine hohe Langzeitstabilität, da die Genauigkeit auch bei Änderung des Ausgangswertes nicht beeinträchtigt wird.
Geringe Abmessungen
Der Sensorbereich ist sehr klein: H165×B150×T300 mm
Sensor und Monitor können voneinander getrennt werden (REMOTE-Variante)
Benutzerfreundlichkeit und gute Sichtbarkeit mit einem Touchpanel
Das Bedienpanel ist mit einem 5-Zoll-Touchpanel ausgestattet. Die Bedienung ist intuitiv und komfortabel durch ein einfaches Berühren des Bildschirms.
Darüber hinaus ist es mit einer großen, gut ablesbaren Schrifteinstellung ausgestattet, so dass Messungen aus der Ferne gut zu erkennen sind.
UJR / VCR Anschlüsse
UJR/VCR-Anschlüsse dienen zum Ein- und Ausleiten von Probengas. Optional sind zusätzliche Anschlüsse zum Spülen des Sensorinneren mit Stickstoff erhältlich, falls Probengas aus dem Hohlraum austritt.
Analoge und digitale Ausgänge stehen zur Verfügung, eine zentrale Überwachung wird ebenfalls unterstützt.
Optionale analoge und digitale Ausgänge ermöglichen die Erfassung von Messwerten im zentralen Überwachungssystem der Anlage. Darüber hinaus ist er auf Miniaturisierung und Benutzerfreundlichkeit ausgelegt und kann mit der gleichen Benutzerfreundlichkeit wie herkömmliche Sensorwandler gehandhabt werden.
SPEZIFIKATIONEN
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|---|---|
| Modell |
DewTracer mini CRDS-H2O |
| Messprinzip |
CRDS-Methode (Cavity Ring Down Spectroscopy) |
| Messbereich |
12 ppbv ~ 20 ppmv (-100 ~ -55 °CDP), Kleinere Nachweisgrenze auf Anfrage! |
| Einsatzumgebung |
10 ~ 40 °C, 35 ~ 80% RH oder weniger (keine Kondensation) |
| Lagerung |
-10 ~ 40 °C, 35 ~ 85 % relative Luftfeuchtigkeit oder weniger (keine Kondensation) |
| Antwortzeit |
50⇔1000 [ppbv] 90 [%] Reaktionszeit bei Änderung 60 [Sek.] (typ.) |
| Temperaturbereich des Messgases |
5~60°C oder weniger |
| Durchflussrate der Probe | <2,0 l/min. |
| Durchflussrate der Spülung | <5,0 l/min. |
| Art des Messgases | Wählen Sie zwischen Luft, N2, O2, Ar und vielen anderen, einschließlich korrosive Gase |
| Druck der Probe | 86 ~ 106 kPaA (bis zu ~900 kPaA als Option) |
| Systemgenauigkeit | ±4 % oder ±12 ppb, je nachdem, welcher Wert größer ist |
| Messungen | Volumenmolaranteil [ppmv] Messeinheit Gastemperatur [°C] Messeinheit Gasdruck [PaA] |
| Berechnete Werte | Tau-/Frosttemperatur [°CDP] |
| LCD-Display (Monitorbereich) | Farb-LCD (800×480 WVGA) 5-Zoll-Touchpanel |
| Analogausgang (optional) | 4~20 mA |
| Digitaler Ausgang (optional) | RS-232C |
| Alarmausgang (optional) | Relaiskontakt-Ausgang |
| Anschlüsse | Messgas IN-OUT: 1/4"; Spülgas IN-OUT: 1/4" |
| Stromversorgung | Mitgeliefertes Netzteil (100-240 V, 50 / 60 Hz, 1,4 Amax) |
| Leistungsaufnahme | Sensor: 10 W (typ.) Monitoreinheit: 30 W (typ.) |
| Gewicht | Sensor: ca. 5 kg (ohne Netzteil) + Monitor: ca. 1,7 kg |
| Abmessungen (Einheit: mm) |
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